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- [行业新闻]美国ILSI硅MEMS振荡器的弹性和可靠性2018年05月03日 09:46
- 硅MEMS振荡器与石英晶振,石英晶体振荡器相比具有一些固有的优势,可以使它们在各种环境中可靠地工作.ILSI MMD开发了MEMSFirstTM工艺,其中谐振器完全封装在硅中并封装在微型真空室内.非常小的谐振器质量和刚性硅晶体结构的组合使其具有耐用性,并且非常耐外部应力,如冲击和振动.此外,振荡器中优化设计的模拟电路可在电噪声条件下提供高性能.
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