石英晶振的等效动态电阻性能技术指标
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等效动态电阻Rqn,其定性关系式如下:
式中,F为阻尼系数,其余符号同上。
由式(3.3.12)可知,等效动态电阻Rq1与泛音次数的平方成正比,与石英晶振片厚度的三次方成正比,与电极面积成反比。除上述三项因素外,还有:
(1)与空气的摩擦(表面损耗)形成的阻力有关。可通过对外盒抽真空以减小损耗
(2)与石英晶振片表面微粒间的摩擦有关。可提高石英片表面光洁度,控制腐蚀量,减小砂痕、沙坑、提高银层的牢固度及整体性来减小。
(3)与石英晶体的内摩擦,自由振动时内部晶格的变化,产生内应力及加工过程中形成的内应力而引起内部损耗有关。
(4)与石英片表面的清洁度(残留酸、盐、油污、手印汗渍、尘埃等)有关。可通过提高洁净度来减小。
(5)与石英晶振片平面平行度、表面不平度及倒边后的对称性、平台尺寸、留边量、腐蚀的不均匀严重影响R1的大小。
(6)被银、调频质量的影响,如被银频率误差大,电极的对称性、微调量太大等影响R1。总之,石英晶体元件的表面损耗10倍于内摩擦损耗。其它性能指标与名词术语应以GB12273中规定为准。