声表面滤波器最早是由瑞利勋爵于1885年描述的.沿着表面传播并在2-3个波长的距离内穿透深度,这种类型的波在地震中具有最大的破坏性.用于处理无线电信号的表面活性剂的调查始于战后年代,但直到1970年代末,SAW声表面滤波器器件才专门用于军事装备:雷达,空间通信系统.20世纪80年代无线电话的高适应性和快速发展为这些设备在民用应用中提供了广泛的应用领域.
在最简单的应用中,一个横向声表面波滤波器由两个传感器组成,这些传感器在压电基片表面上有导电电极的反向格栅,例如单晶石英或铌酸锂(图1).
其中一个转换器激励,另一个接受瑞利波.如果将信号作为delta函数发送给发送转换器,则滤波器的脉冲响应 将是两个换能器的本地脉冲响应的卷积.相邻电极之间的距离是瑞利波长度的一半.这种波的速度比光速小五个数量级.因此,变得清楚的是,可以在小的衬底上再现数百或数千个所需的无线电脉冲周期.
SAW滤波器设计基础
现在假设你想创建一个矩形频率响应的滤波器,如图2a所示.
与该特性相对应的脉冲响应如图3所示.2B.如果我们根据这个脉冲响应重现转换器的拓扑结构,我们可以预期在与填充周期相对应的中心频率处的这种声表面滤波器将具有接近给定周期的频率响应(图2c).当然,更复杂的方法用于设计低损耗滤波器和谐振器.