MEMS谐振器的气密密封效果如何?

MEMS谐振器的气密密封效果如何?

SiTime的EpiSeal?工艺是实现极其稳定的MEMS谐振器的关键因素之一,它在晶圆加工过程中密封了谐振器,无需密封陶瓷封装.SiTime的EpiSeal谐振器不受大气中最高浓度元素,氮和氧的影响,因此可作为完美密封.前几代EpiSeal谐振器可能受到大量小分子气体的影响.较新的EpiSeal谐振器不受所有小分子气体的影响.

关于SiTime

SiTime公司是MEMS计时的市场领导者,也是MegaChips公司（东京证券交易所：6875）的全资子公司,提供基于MEMS的硅计时系统解决方案.Sitime Crystal的可配置解决方案提供丰富的功能集,使客户能够以高性能,小尺寸,低功耗和高可靠性使其产品与众不同.通过使用标准半导体工艺和大批量封装,SiTime可缩短交付周期,并可满足不可预测的需求.更多Sitime晶振的资料信息欢迎咨询亿金电子Sitime代理商,咨询热线0755-27876565.